१. लोड हुँदैछ
कोटेड क्वार्ट्ज क्रुसिबललाई हिट एक्सचेन्ज टेबलमा राख्नुहोस्, सिलिकन कच्चा माल थप्नुहोस्, त्यसपछि तताउने उपकरण, इन्सुलेशन उपकरण र फर्नेस कभर स्थापना गर्नुहोस्, भट्टीमा दबाब ०.०५-०.१mbar मा कम गर्न भट्टी खाली गर्नुहोस् र भ्याकुम कायम गर्नुहोस्। फर्नेसमा 400-600mbar मा मूल रूपमा दबाब राख्न सुरक्षात्मक ग्यासको रूपमा आर्गनको परिचय दिनुहोस्।
2. तताउने
फर्नेस बडीलाई तताउन ग्रेफाइट हीटर प्रयोग गर्नुहोस्, पहिले ग्रेफाइट भागहरू, इन्सुलेशन तह, सिलिकन कच्चा पदार्थहरू, इत्यादिको सतहमा सोसिएको आर्द्रता वाष्पीकरण गर्नुहोस्, र त्यसपछि क्वार्ट्ज क्रुसिबलको तापक्रम लगभग 1200-1300 सम्म पुग्न बिस्तारै तताउनुहोस्।℃। यो प्रक्रिया 4-5 घण्टा लाग्छ।
3. पग्लने
फर्नेसमा 400-600mbar मा मूल रूपमा दबाब राख्न सुरक्षात्मक ग्यासको रूपमा आर्गनको परिचय दिनुहोस्। क्रुसिबलको तापक्रमलाई लगभग 1500 सम्म अनुकूलन गर्न बिस्तारै ताप शक्ति बढाउनुहोस्℃, र सिलिकन कच्चा माल पग्लन सुरु हुन्छ। लगभग 1500 राख्नुहोस्℃पिघल्ने प्रक्रियाको समयमा पिघल पूरा नभएसम्म। यो प्रक्रिया लगभग 20-22 घण्टा लाग्छ।
4. क्रिस्टल वृद्धि
सिलिकन कच्चा माल पग्लिसकेपछि, क्रुसिबलको तापमान लगभग 1420-1440 मा घटाउन ताप शक्ति घटाइन्छ।℃, जुन सिलिकन को पिघलने बिन्दु हो। त्यसपछि क्वार्ट्ज क्रुसिबल बिस्तारै तलतिर सर्छ, वा इन्सुलेशन उपकरण बिस्तारै बढ्छ, ताकि क्वार्ट्ज क्रुसिबलले बिस्तारै तताउने क्षेत्र छोड्छ र वरपरको ताप विनिमय बनाउँछ; एकै समयमा, पानीलाई कूलिंग प्लेटबाट पार गरिन्छ तलबाट पग्लिएको तापक्रम कम गर्न, र क्रिस्टलीय सिलिकन पहिले तल्लो भागमा बनाइन्छ। वृद्धि प्रक्रियाको बखत, क्रिस्टल वृद्धि पूरा नभएसम्म ठोस-तरल इन्टरफेस सधैं तेर्सो विमानको समानान्तर रहन्छ। यो प्रक्रिया लगभग 20-22 घण्टा लाग्छ।
5. एनिलिङ
क्रिस्टलको वृद्धि पूरा भएपछि, क्रिस्टलको तल र माथिको बीचमा ठूलो तापमान ढाँचाको कारण, इन्गटमा थर्मल तनाव हुन सक्छ, जुन सिलिकन वेफरको तापक्रम र ब्याट्रीको तयारीको समयमा फेरि तोड्न सजिलो हुन्छ। । तसर्थ, क्रिस्टलको वृद्धि पूरा भएपछि, सिलिकन इन्गटको तापक्रम एकसमान बनाउन र थर्मल तनाव कम गर्न सिलिकन इन्गटलाई २-४ घण्टासम्म पिघलाउने बिन्दु नजिकै राखिन्छ।
6. चिसो
सिलिकन इन्गट फर्नेसमा एनेल गरिसकेपछि, तताउने शक्ति बन्द गर्नुहोस्, तातो इन्सुलेशन उपकरण बढाउनुहोस् वा सिलिकन इन्गटलाई पूर्ण रूपमा कम गर्नुहोस्, र सिलिकन इन्गटको तापक्रम बिस्तारै घटाउन भट्टीमा आर्गन ग्यासको ठूलो प्रवाह प्रस्तुत गर्नुहोस्। कोठाको तापमान; एकै समयमा, भट्टीमा ग्यासको दबाब बिस्तारै बढ्दै जान्छ जब सम्म यो वायुमण्डलीय चापमा पुग्दैन। यो प्रक्रिया लगभग 10 घण्टा लाग्छ।
पोस्ट समय: सेप्टेम्बर-20-2024
